精密金属蚀刻加工是一种高精度、微细化的金属成型技术，广泛应用于多个高科技行业。该技术通过化学或电化学方法对金属材料进行选择性腐蚀，形成复杂精细的图形结构，适用于微电子、医疗器械、航空航天等领域。

1. 精密金属蚀刻加工的主要应用领域

(1) 电子行业

精密金属腐蚀加工用于制造柔性电路（FPC）、引线框架、微机电系统（MEMS）等。

可加工超薄金属箔（0.01mm~0.5mm），满足高精度线路需求。

(2) 医疗器械

手术器械、植入式金属筛网、微流控芯片等均采用精密金属刻蚀加工，确保无毛刺、高生物相容性。

(3) 航空航天

用于制造燃油喷嘴、涡轮叶片气膜冷却孔等关键部件，耐高温、耐腐蚀。

(4) 光学及半导体

精密金属掩模板、光学编码盘等依赖精密金属蚀刻加工实现微米级精度。

2. 精密金属腐蚀加工的工艺流程

步骤1：材料准备

选用不锈钢、铜合金、镍合金等适合精密金属刻蚀加工的材料。

表面清洁（除油、抛光）确保蚀刻均匀性。

步骤2：光刻胶涂覆

通过UV曝光或激光直写技术定义蚀刻图形，光刻胶保护非蚀刻区域。

步骤3：蚀刻加工

采用化学蚀刻（FeCl₃、CuCl₂等）或电解蚀刻，控制温度（40~60℃）和时间（30~300秒）。

精密金属蚀刻加工的关键在于药液浓度和蚀刻速率的精确控制。

步骤4：后处理

去胶、清洗、钝化处理，提高耐腐蚀性。

质检（显微镜、3D轮廓仪检测精度）。

3. 精密金属刻蚀加工的优势

✔ 高精度：可加工0.01mm超细线条及微孔
✔ 无机械应力：避免冲压导致的变形或毛刺
✔ 复杂图形：支持异形孔、多层结构加工
✔ 批量生产：单次可加工数百片，效率高

4. 未来发展趋势

随着5G、半导体和医疗技术的进步，精密金属蚀刻加工将向更小尺寸（纳米级）、更高效率（自动化蚀刻线）方向发展，满足高端制造业需求。

精密金属腐蚀加工在微电子、医疗、航空航天等领域具有不可替代的作用，其高精度、高一致性特点使其成为现代精密制造的关键技术之一。