微孔加工的几种方法
发布日期:2022-05-24
1、电火花微孔加工主要是针对模具打孔操作,电火花加工是属于慢加工,在微机械、机械部件、光学仪器等领域得到广泛关注,微孔加工受力小、加工孔径由调节电参数就可以得到控制等优势,但其弊端无法批量生产,费用较高,2个或者5个左右的孔径可以使用。
2、激光加工主要加工0.1mm以下的材料,电子部件、多层电路板、陶瓷基片,宝石基片上的钻孔、划线和切片;半导体加工工种的激光走域加热和退货、激光刻蚀、掺杂和氧化等,对金属微孔加工激光工艺容易产生烧黑的现象,且容易改变材料的材质,残渣不易清理或无法清理的现象。
3、线性切割采用线电连续供丝的方式,慢走丝线切割机在运用领域得到了普及,工件表面粗糙度通常可达到Ra=0.8μm及以上,但线切割工艺材料容易变形,批量切割生产昂贵。
4、蚀刻光化学蚀刻,指通过曝光,显影将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,使用两个阳性图形通过从两面的化学研磨达到溶解的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。对形状复杂,密度要求高二机械加工难以实现的超薄形工件。金属微孔蚀刻加工能够满足部件平整、没有毛刺、图形复杂的要求,加工周期短、成本低。
5、微钻直接小于3.175mm的钻头,它主要加工Ф0.1-Ф0.3mm,深径比超过10。