精密金属遮罩蚀刻法的运用
发布日期:2022-06-06
遮蔽罩主要是用于遮蔽带电导体或者不带电导体部件的保护罩。而这里的精密金属遮罩是用于OLED蒸镀制程,通过精密金属遮罩中的孔洞将三种种颜色的蒸镀材料进行穿透,准确的将位置形状大小定义在玻璃基板上。
那么精密金属遮罩是如何进行制造的呢?卓力达蚀刻将采用目前主流的蚀刻制作法,通过在金属曝光显影制程,在金属金属基材上通过化学药剂采用菲林的方式制作出镂空区,在利用蚀刻制程做出凹陷区,通过上下两侧面凹陷区进行再次蚀刻制作出刻穿孔洞。该方法对孔洞的大小在精度上要求极高,也是蚀刻工艺技术上的难题,主要原因是主表面与孔洞开口的侧边壁面有一定的斜坡形成尖点,因蚀刻时间的长短,药剂的浓度容易产生误差导致孔径大小精度差异较大,目前实现精密金属遮罩的制作法除了蚀刻制作法,还有电铸制作法,激光制作法,但这两种工艺弊端无法满足需求,所以最直接的方式依旧是蚀刻制作法,卓力达在蚀刻行业中追求精益求精,不断的突破技术设限成功实践精密金属遮罩的制作。