掩膜版生产流程
发布日期:2022-06-10
什么是掩膜版?掩膜版就是微电子制造过程中通过图形转移工具或母版,承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。掩膜版又称光罩,光掩膜、光刻掩膜版、掩膜版等,掩膜版广泛应用于电子产品、家电、汽车等行业领域,其中主要的客户是半导体厂商英特尔、三星、台积电以及京东方、华星光电等知名企业。
掩膜版分基板和遮光膜两部分,卓力达作为蚀刻工艺的厂家之一,成功实践客户各种掩膜版蚀刻需求,那么掩膜版生产流程是怎么样的呢?
1.客户确定图形后,通过对专业设计软件进行二次编辑和处理。
2.依据版图设计数据分层。运算,根据工艺需求对相应的参数进行确定和格式转化。
3.掩膜版的制造采用的是正性光刻胶,通过光刻机中的激光作用需要曝光区域的光刻内部发生交联反应。
4.通过曝光后在显影液的作用下未曝光区域进行保留并保护膜层。
5.保护膜层的部分会保留图形的样式,再通过蚀刻液进行腐蚀溶解成型。
6.溶解成型后再通过脱模工序进行脱模液除去多余的光刻胶。
7.利用清水洗净掩膜版两面污染物。
8.完成以上步骤后,再进行尺寸测量得到准确的参数值。
9.接下来就是检测掩膜版的产品是否满足客户定制需求,对图形、排名、伤痕、图形边缘等全面检测和确认良品。
10.对良品进行包装,封箱贴好各种参数值,批次,数量等,最终进行发货。