薄基材过滤片由于其精度和公差相对较小，且微米级的要求也高，在对工艺的追求上极具苛刻，过滤片采用的加工方式是化学腐蚀微槽与电火花线性切割加工外形，其中在打孔过程中也采用激光加工法，但线性切割和激光打孔技术上会出现烧焦感，产品的平滑度并不高，化学腐蚀法国内的机器上会精度不高，由于化学药剂的原因对环境会产生污染，实际的现实问题，想要解决在化学腐蚀过程中产生的精度和污染，都可以通过精度较高的国外进口的机器，且化学药剂可以建立新的循环环保体系，尽达到了保护环境的目的也做到了有利循环。智能汽车领域的油芯滤网就是采用蚀刻的方式。

液体过滤器是航天器双组元推进系统用于过滤液体推进剂，采用带有微槽的薄基材过滤片，材料厚度在0.06mm的钛箔，表面具有花瓣形微槽，薄基材过滤片可以选择蚀刻工艺进行加工，蚀刻薄基材过滤片能够满足于0.03mm的厚度，薄基材过滤片蚀刻出来的产品无毛刺，表面相对光滑。