蚀刻速度和侧蚀量是化学蚀刻加工过程中最为重要的参数，侧蚀量决定了化学蚀刻加工的精度，侧蚀量越小，加工精度越高，使用范围就越宽，反之，加工精度越低，使用范围缩小。在多种金属过程中，铜是侧蚀量最小的，铝是侧蚀量最大的。化学蚀刻加工中蚀刻速度决定了蚀刻加工周期的长短，蚀刻速度越快，蚀刻加工周期越短、生产效率越高。蚀刻速度并不是越快越好，主要有以下几个原因：

1. 蚀刻速度越快，在单位时间内对金属的蚀刻量越大，产热量增大，腐蚀液温度变化快，不利于蚀刻速度的恒定。

2. 蚀刻速度越快，对于深度要求很精确的金属加工不容易控制

3. 蚀刻速度越快，经蚀刻后的金属表面质量越低，明显影响蚀刻表面的平滑度和光泽度

4. 高的蚀刻速度往往都需要高浓度的腐蚀剂浓度、高腐蚀性的化学试剂、高的蚀刻温度等。

针对蚀刻量较大的材质，采用“先快后慢”就是先用蚀刻速度较快的腐蚀液进行一次蚀刻，当蚀刻深度接近设计要求值后，再换用蚀刻速度较慢的腐蚀液进行精度蚀刻，尽管增加了工序，但缩短了加工时间，同时也保证了蚀刻精度和表面光泽度。