蚀刻钛金属是一种精密加工技术，其流程涉及多个关键步骤。

表面预处理
在蚀刻钛金属加工前，需彻底清洁材料表面，去除油污和氧化层。钛的氧化层常采用氢氟酸溶液或喷砂处理，确保后续反应均匀性。

掩膜制作
通过光刻、丝网印刷或喷墨打印技术，在钛表面覆盖保护层以定义图案。这一步骤决定了蚀刻钛金属的图案精度与复杂度，掩膜区域将抵抗蚀刻液腐蚀。

蚀刻反应
化学蚀刻钛金属时，常用氢氟酸（HF）与硝酸（HNO₃）混合溶液溶解未掩蔽区域。需严格控制溶液浓度（HF 5%~20%）、温度（通常<50℃）和时间，以避免过度腐蚀或氢脆风险。

后处理
蚀刻钛金属完成后需去除掩膜并清洗残留液，随后进行钝化处理（如阳极氧化）以提高表面耐腐蚀性。这一步骤直接影响工件的最终性能与应用寿命。

注意事项：

若加工对象为钛合金（如TC4），需调整工艺参数（如HF浓度提升至10%~15%）以应对多元氧化层，并增加真空退火步骤减少氢脆风险。

相较激光蚀刻的高成本，化学蚀刻钛金属更适用于复杂图形加工，但需严格遵守环保规范处理废液。

以上流程充分体现了“蚀刻钛金属”技术的精准性与适应性，广泛应用于医疗、航天等领域。