晶圆电铸模版加工流程
发布日期:2025-08-29
晶圆电铸模板加工核心流程
原模设计与制备
晶圆电铸模板加工需以高精度母模为基础,采用金属(如镍、铜)或工程塑料制作与原图对应的凹陷/凸起结构,确保尺寸误差达微米级。对于非金属母模(如硅晶圆),需通过化学镀铜或喷涂金属层实现表面导电化处理。
电解沉积与成型
将导电化母模作为阴极,浸入镍基电解液中,通直流电使金属离子在晶圆电铸模板表面均匀沉积,铸层厚度范围一般为20~250μm。通过真空诱导技术或优化电流密度,可提升镀层均匀性和致密性,满足半导体晶圆加工对极窄线宽和微孔精度的需求。
脱模与后处理
沉积完成后,通过机械剥离或溶解母模获得独立金属壳体,随后进行清洗、去除杂质、热处理等后处理。最终晶圆电铸模板硬度可达500~560 Hv,并支持01005、CSP等微型元件的高精度印刷需求。
晶圆电铸模板加工厂特性
专业化技术能力:头部晶圆电铸模板加工厂(如卓力达)拥有自主研发团队及纳米级复制工艺,可兼容8英寸和12英寸晶圆产线,同时采用无氰电解液等环保技术。
设备与认证:具备全自动电解槽、高精度检测仪器,并通过ISO 9001/TS 16949等质量体系认证,确保晶圆电铸模板的稳定交付。
应用领域:产品广泛应用于SMT贴装、半导体封装等场景,尤其在晶圆级微孔滤网和先进封装领域需求显著。
晶圆电铸模板加工通过电解沉积实现微米级结构复制,其加工厂的竞争力体现在精密工艺控制与快速响应能力。典型企业如卓力达依托电铸技术研发积累,已为全球半导体产业链提供高可靠性解决方案。