1. 加工流程与技术难点

表面预处理：需强化酸洗处理（氢氟酸浓度增至10%~15%）以清除钛合金表面多元氧化层（如Al₂O₃）并脱脂。

掩膜制作：采用光刻或丝印技术覆盖抗蚀层，图形转移精度可达±0.01mm（适应手机铰链微雕等精密需求）。

化学蚀刻：使用氢氟酸-硝酸混合液（HF:HNO₃=1:3），温度控制≤50℃以避免β相吸氢导致的氢脆风险，添加柠檬酸提升蚀刻均匀性。

后处理：电解抛光降低孔壁粗糙度至Ra≤0.4μm，并真空退火（300-400℃保温2小时）消除残余应力。

2. 工艺优势与应用领域

高材料兼容性：支持TC4、TA15等钛合金薄材（0.1-2mm）加工，满足抗拉强度≥900MPa的高强需求。

精密加工能力：可蚀刻0.05mm微孔阵列（公差±0.005mm），用于折叠屏手机钛合金铰链、智能手表镂空表壳等消费电子件。

多行业适配：

航空航天：发动机叶片气膜孔加工（孔深径比≥5:1）；

医疗：植入物表面微孔处理（促进骨组织结合）；

新能源：氢燃料电池钛双极板流道蚀刻（流道深度0.2mm±5%）。

3. 技术趋势与挑战

绿色化升级：探索无氟蚀刻液（如H₂SO₄-H₂O₂体系）减少废液污染；

智能化控制：AI实时监测蚀刻速率与温度，良率提升至98%以上。

钛合金蚀刻凭借高精度与材料性能优势，正加速在高端制造领域替代传统工艺。