光学狭缝片蚀刻加工
发布日期:2022-05-12
狭缝片是一种应用于光谱仪器细微配件,光谱仪器分经典光谱仪和新型光谱仪两大类。前者是建立空间色散原理上的仪器,后期是建立在调制原理上仪器。而狭缝片则是通过一对隔板在光通路上形成的缝隙,调节入射单色光的纯度和强度,也直接影响分辨力。
狭缝片上狭缝的实际宽度以毫米表示,而光谱频带宽度,即出射狭缝的光谱宽度同样是毫米表示。当出射狭缝的宽度是6mm,所指的狭缝射出的光6mm光谱带宽。纯单色光分光光度计能得到的单色光实际上具有一定波长范围的谱带。狭缝越宽,波长范围越宽。对于单色光的纯度,狭缝越窄越好,但光的强度越弱。故狭缝不能无限小。狭缝的最小宽度取决于探测器能够准确测量的最小光能。狭缝片生产工艺分光化学蚀刻和激光切割。然而,普遍的精密仪器通常通过光化学蚀刻整版制作,窄缝片最小缝宽可实现0.05mm,蚀刻后,狭缝片黑化整个版本,然后批量拆下进行包装和运输。
激光切割缝宽也可以达到0.05mm,但切割狭缝会有激光烧结残留,缝隙不够细腻,精度要求低的光学仪器。狭缝片蚀刻加工相比于激光切割的工艺相比,即狭缝片蚀刻加工在追求高精度、微米级的公差上通过蚀刻工艺能够达到理想的状态。