钛合金蚀刻是一种通过化学或物理方法在钛合金表面选择性去除材料的高精度工艺，广泛应用于航空航天、医疗器械、氢燃料电池双极板等领域。以下是其核心加工流程及关键技术要点：

1. 表面预处理

钛合金蚀刻前需对材料进行严格预处理，包括化学除油、喷砂或氢氟酸（HF）清洗，彻底去除表面油污、氧化层及杂质，以提高后续掩膜附着力与蚀刻均匀性。此步骤直接影响钛合金蚀刻的成品质量，若处理不充分易导致蚀刻不均或返工。

2. 掩膜制作

根据设计需求选择光刻、丝印或激光制版技术，在钛合金表面形成保护性图案掩膜。光刻工艺可实现微米级精度（±0.01mm），适用于复杂图形；丝印则更适合大面积批量生产。掩膜的精准度是钛合金蚀刻实现高分辨率的决定性因素。

3. 化学蚀刻反应

将预处理后的钛合金浸入氢氟酸（HF）与硝酸（HNO₃）的混合蚀刻液中，通过控制溶液浓度（通常20%-40%）、温度（30-50℃）及时间（数秒至数分钟），定向溶解未覆盖掩膜的钛合金区域。此阶段需实时监控反应速率，以避免过蚀刻或侧壁粗糙问题。

4. 掩膜去除与后处理

完成蚀刻后，使用碱性溶剂或机械剥离法清除残留掩膜，并对钛合金蚀刻件进行超声清洗、钝化（如阳极氧化）或抛光处理，以提升表面耐腐蚀性和光洁度。例如，氢燃料电池双极板经钝化后可在高酸性环境中长期稳定使用。

5. 质量检测与应用适配

通过光学测量、显微镜检测等手段验证钛合金蚀刻的孔径精度（最小达材料厚度的1.5倍）与形貌一致性。根据终端需求，可进一步进行微调或复合加工（如电镀、焊接），满足航空航天精密滤网或医疗器械元件的性能要求。
钛合金蚀刻工艺通过精密化学溶解实现了复杂结构的高效加工，兼具精度高（±0.08mm）、无毛刺等优势。随着激光蚀刻等新技术的发展，钛合金蚀刻在折叠屏手机铰链、卫星轻量化组件等领域的应用持续拓展，推动高端制造业向更精细、环保方向升级。