一、五金蚀刻加工核心流程
基材预处理:
针对不锈钢(304/316L)、钛合金或铜材(厚度0.05-5mm),通过电解抛光(Ra≤0.1μm)或等离子清洗(真空度≤0.1Pa)去除表面氧化层,确保后续光刻胶附着均匀,为五金蚀刻加工提供稳定基底。
光刻图形化:
涂布光刻胶(厚度5-20μm)后,采用紫外曝光(波长365nm)或激光直写技术(精度±0.005mm)定义微孔、流道等图形,支撑复杂镂空结构(如500孔/cm²阵列),满足五金蚀刻加工的高分辨率需求。
化学蚀刻成型:
不锈钢:三氯化铁+硝酸混合液(浓度20-35%),动态喷淋蚀刻速率0.1mm/min,孔径公差±0.01mm,垂直度≥89°;
钛合金:氢氟酸+硝酸体系,实现微孔(0.05mm)与异形槽同步加工,确保氢燃料电池极板气密性。
去胶与后处理:
碱性溶液剥离残胶,电解抛光消除孔口毛刺,利用CCD视觉检测孔径精度(良率≥99%),完成五金蚀刻加工全流程。
二、五金蚀刻加工技术优势对比
参数 | 五金蚀刻加工 | 传统冲压/CNC |
最小孔径 | 0.02mm(湿法蚀刻) | ≥0.5mm(受刀具限制) |
加工应力 | 无机械变形(保持材料刚性) | 易产生翘曲/微裂纹 |
复杂图形 | 支持渐变孔/蜂窝结构 | 仅限规则形状 |
批量效率 | 单次加工100+片(≥1m²幅面) | 单件加工耗时高 |
三、五金蚀刻加工应用领域
半导体散热器:微流道铜基板(0.1mm宽×0.5mm深),散热效率提升40%;
新能源氢能设备:钛合金双极板(0.08mm微孔,氢气渗透率≤1e⁻⁶Pa·m³/s);
精密医疗器械:手术刀片防黏附微槽(深宽比1:10,切割阻力降低35%)。
结论:五金蚀刻加工凭借“零接触应力+微米级精度”特性,成为精密金属器件制造的核心工艺,在高端工业领域持续替代传统机械加工方式。